（原标题：倏得猛拉！光刻机，大音讯！）

国产光刻机突传重磅。

12月25日，据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机格式，开导数目为一台。

受此音讯刺激，张江高科股价直线猛拉，尾盘一度暴涨超8%。

本年以来，光刻机国产化不断提速。有券商机构以为，光刻机本事的冲破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加快光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化进度。

光刻机大音讯

12月25日，据中国政府采购网公示，上海微电子中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机格式，开导数目为一台，成交金额10999.985万元。

天眼查信息披露，上海微电子开发于2002年，联想边界包含：半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、联想、制造、销售及本事处事等，推动包括上海电气控股集团有限公司、上海科技创业投资有限公司、上海光微青合投资中心（有限合资）、上海张江浩成创业投资有限公司等。其中，上海张江浩成创业投资有限公司由A股公司张江高科(600895)全资握有。

受此音讯刺激，当天午后，张江高科股价直线拉升，一度暴涨超8%，终局收盘，涨幅仍达4.81%。

据了解，步进扫描光刻是一种夹杂光刻本事，连合了扫描投影光刻和分步访佛光刻的上风。该本事通过动态扫描形势同步迁徙掩膜版和晶圆，模范曝光尺寸为26mm×33 mm，可增大曝光场并一次曝光多个芯片，其具备统统这个词扫描进程的及时聚焦编削能力，适用于0.25μm以下的制造工艺，尤其在0.18μm节点及更先进工艺中正常诓骗。

凭据企查查信息，《单一源流采购内行论证宗旨表》披露，招标方为科学本事部的LGGJ现实室，格式金额11300万元。

内行认证宗旨披露，步进扫描式光刻机具备高分离率光学成像能力（分离率≤110nm）和优异的套刻精度（≤15nm），可支握微米乃至亚微米级结构的高均匀性、高褂讪性加工。其领受的扫描式曝光形势在确保加工精度的同期，兼具高效果与大尺寸加工上风，工艺一致性和褂讪性隆起，大要充分感奋高密度神经电极阵列对极细线宽和高瞄准精度的薄情工艺条件。

国产化不断提速

在半导体装备限制，光刻机长期处于中枢要道开导的地位。现在该市集经久由ASML、尼康和佳能等海外厂商主导。上海微电子看成国内现在独一具备先进前说念光刻机研发与制造能力的企业，其最新机型已可竣事分离率≤110nm、套刻精度≤15nm的性能贪图，成为国产高端光刻装备的要紧冲破。

公司官网信息披露，上海微电子主要神敢于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、联想、制造、销售及本事处事。公司开导正常诓骗于集成电路前说念、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造限制。

上海微电子的光刻开导主要包括，SSX600系列步进光刻机、SSB500系列步进光刻机、SSB300系列步进光刻机、SSB200小Mask系列曝光机、SSB200大Mask系列曝光机。

其中，SSX600系列步进扫描投影光刻机领受四倍松懈倍率的投影物镜、工艺自符合调焦调平本事，以及高速高精的自减振六解放度工件台掩模台本事，可感奋IC前说念制造90nm、110nm、280nm要道层和非要道层的光刻工艺需求，可用于8寸产线或12寸产线。

本年以来，光刻机国产化不断提速。本年11月25日，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）传出佳音，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）厚爱完成出厂调试与验收，出发发往客户现场，标记着我国在高端半导体光刻开导限制再次竣事要道冲破。

华鑫证券以为，光刻机本事的冲破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加快光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化进度，酿成“龙头带动、多点冲破”的产业升级方法。

国金证券暗示，半导体开导是半导体产业链的基石，存储扩产与自主可控共振，国产替代空间强大。半导体开导位于产业链上游，是复旧芯片制造与封测的中枢产业。跟着AI大模子运转存储本事向3D化演进，叠加长鑫、长存等国内存储大厂扩产格式落地，国产半导体开导产业链有望迎来新一轮高速增长机遇。

排版：汪云鹏

校对：彭其华开云体育